無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時(shí)充入氮?dú)?，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導(dǎo)體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗(yàn)的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達(dá)到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮?dú)?，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計(jì))。

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設(shè)置溫度不合理會(huì)造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時(shí)查看儀器運(yùn)行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級(jí)和百級(jí)過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當(dāng)烤箱內(nèi)部氣流流動(dòng)時(shí)，熱量會(huì)被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會(huì)逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內(nèi)，熱量會(huì)被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內(nèi)部，使整個(gè)材料得到均勻的加熱同時(shí)，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現(xiàn)象，從而大大減少煙塵的排放。