一般的電熱（鼓風）無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數(shù)的原因。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據(jù)工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節(jié)進氣口大小可調節(jié)烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實際情況合理調節(jié)進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當烤箱內部氣流流動時，熱量會被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內，熱量會被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個材料得到均勻的加熱同時，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現(xiàn)象，從而大大減少煙塵的排放。