特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內(nèi)能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計)。

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風(fēng)機運轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機從電機端看進去應(yīng)為逆時針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設(shè)定好，再將定時開關(guān)擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周圍不可放置易燃易爆物品。