特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以內是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

一般的電熱（鼓風）無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風經高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風和垂直送風，為了達到內部無塵的環(huán)境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內的空氣通過回風口后，一部分經過排氣口排除箱外，另外的經過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。